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产品型号：安捷伦 DSO-X93204A

促销价 45万元

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销售  /半导体测试仪器/半导体参数分析仪

销售吉时利 4200A-SCS 4200A-SCS参数分析仪+8101-PIV+4200SMU2 个源测量单元模块+4200TM测试夹具

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更新日期：2025-08-08
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* 产品描述

4200A - SCS 半导体特性分析系统是一款高精度半导体参数分析仪3。搭配 8101 - PIV 超快脉冲 I - V 测量模块、两个 4200SMU 源测量单元模块以及 4200TM 测试夹具后，可实现高精度的电流电压（I - V）、电容电压（C - V）测量和超快脉冲 I - V 测量等功能，广泛应用于半导体器件研发、制程控制、可靠性分析等领域。

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详细信息

产品详情

  • 4200A - SCS 参数分析仪主机：
    • 测量功能：可同步进行 I - V、C - V 和超快脉冲 I - V 测量，能表征 MOSFET 的栅氧化层厚度、氧化层缺陷密度、掺杂分布等参数。
    • SMU 模块特性：提供 ±210V/100mA 或 ±210V/1A 模块可选，测量分辨率可达 100fA，选配前端放大器后可至 10aA，支持 10mHz 至 10Hz 的超低频率电容测量，具备四象限操作能力，可进行 2 线或 4 线连接。
    • 软件功能：配备 Clarius™软件，具有图形化用户界面，提供超 450 种可修改的应用测试、项目和器件，可实现自动实时参数提取、数据绘图和分析功能。
    • 接口与显示：配备 USB 3.0 和 2.0 端口，可连接键盘、鼠标和闪存驱动器等。搭载 15.6 英寸触摸屏（1920×1080）HD 显示屏，操作直观便捷。
  • 8101 - PIV 超快脉冲 I - V 测量模块：
    • 通道特性：具有两个独立或同步的高速脉冲 I - V 源和测量通道。
    • 脉冲参数：采样率为 200MSa/s，时间分辨率为 5ns，脉冲电压范围为 ±40V（80Vp - p），脉冲电流为 ±800mA，具备瞬态波形捕获模式，可生成可编程分辨率为 10ns 的多级脉冲波形。
  • 4200SMU 源测量单元模块：
    • 功能：兼具电压源、电流源、电流表和电压表功能，可源出或吸收功率，实现高精度的 I - V 测量。
    • 参数：电压范围可达 ±210V，电流范围根据模块不同可为 100mA（中功率模块）或 1A（高功率模块），分辨率可达 100fA，配合前置放大器可至 10aA。
  • 4200TM 测试夹具：
    • 功能：用于连接被测器件与系统，为被测器件提供稳定的机械固定和电气连接，确保测试过程中接触良好、噪声干扰小4。
    • 特点：通常采用低噪声、高绝缘材料设计，支持 4 线测量，可消除引线电阻误差，部分型号可兼容探针台接口，适用于晶圆级测试，也可能带有温度控制功能，满足不同测试环境需求。

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