故障设备:B1510A,长期做介质薄膜微弱漏电测试,带 ASU 选件。
故障背景:大电压、mA 级电流测试基本正常;nA/fA 量程零点漂移严重,归零失败;QS‑CV 曲线噪声巨大;模块硬件自检全部通过。
排查过程:更换全新 Triax 三同轴电缆,故障不变;模块内部信号量程继电器触点氧化,绝缘下降引入额外漏电流;运放、基准完好。
维修处理:更换故障信号继电器;完整执行模块自校准、零点补偿、ASU 回路补偿;做漏电流指标校验。修复完成,fA 量程基线稳定,QS‑CV 测量指标回归规格。
维修总结:SMU 自检通过不等于继电器性能合格;微弱电流测量故障优先排查继电器、绝缘漏电流。