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租赁吉时利 2675A 数字源表

浏览次数:76

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产品参数

选件 状态 设备价值 是否计量
完好 0 否
成色 发货周期 所在地
9成新 -- 深圳市
租赁价格: 电议
更新日期:2026-08-28
联系电话:0755-86016691

*产品描述

2657A 属于吉时利 2600A 系列模块化系统源测量单元,单通道 3000V 高压 SMU。集成精密高压电压源、电流源、6½ 位万用表、电子负载、脉冲发生器一体,完整四象限工作。可输出千伏高压同时测量 fA 级微弱漏电流,专门面向 SiC/GaN 宽禁带功率半导体、高压介质、绝缘器件击穿、漏电特性测试;搭载 TSP 嵌入式脚本系统,广泛配套晶圆探针台搭建自动化半导体测试平台。

详细信息

1、核心电气规格

  • 通道:单通道独立 SMU
  • 输出电压范围:±3000 V
  • 电流范围:直流最大 ±20 mA;脉冲电流 ±20 mA
  • 直流最大功率:180 W
  • 测量精度:6½ 位分辨率,最低电流测量 1 fA
  • 双采集系统:
     22bit 积分 ADC:稳态高精度漏电测量
     18bit 数字化仪:1μs 高速瞬态波形捕捉
  • 工作模式:四象限双向,可作为激励源,也可充当电子负载吸收电流

2、硬件接口配置

  • 输出端口:专用 SHV 高压安全端子,配备高压安全互锁保护
  • 通讯接口:LXI 以太网、GPIB、USB、RS232
  • TSP-Link 高速互联总线,支持多台源表同步触发级联扩展通道
  • 14 路数字触发 I/O,可联动探针台、707B/708B 开关矩阵
  • 支持四线远端 Sense 测量,消除测试引线压降误差

3、功能特性

① 高压 + 微电流兼顾,施加 3kV 高压同时精准捕捉器件反向微小漏电流;
② 内置接触检测功能,自动识别夹具、探针接触不良;
③ 支持线性扫描、对数击穿扫描、脉冲测试,脉冲模式降低器件自热效应;
④ TSP 嵌入式脚本,仪器本地独立运行测试流程,大幅提升自动化测试速度;
⑤ 完善高压联锁、过压、过流多重硬件防护,保障人员与被测器件安全;
⑥ 兼容 ACS 半导体测试软件、TSP Express,无需复杂编程快速生成 I-V 特性曲线。

4、典型应用场景

  • SiC、GaN 功率二极管、MOSFET 反向击穿电压、阻断漏电测试
  • MOSFET、IGBT 栅氧化层耐压、可靠性 NBTI 测试
  • 薄膜介质、电容、绝缘材料高压漏电、击穿特性表征
  • 光电探测器、真空器件、高压二极管电学测试
  • 晶圆厂自动化探针台高压器件量产参数测试

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