2657A 属于吉时利 2600A 系列模块化系统源测量单元,单通道 3000V 高压 SMU。集成精密高压电压源、电流源、6½ 位万用表、电子负载、脉冲发生器一体,完整四象限工作。可输出千伏高压同时测量 fA 级微弱漏电流,专门面向 SiC/GaN 宽禁带功率半导体、高压介质、绝缘器件击穿、漏电特性测试;搭载 TSP 嵌入式脚本系统,广泛配套晶圆探针台搭建自动化半导体测试平台。
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