描述：
主要特性与技术指标
在低至次fA /µV分辨率上执行低电流/电压测量，实现最佳的直流测量性能
电源/测量单元（SMU）是Agilent B1500A半导体器件分析仪的关键测量模块。SMU集成了电压/电流源和测量功能，可在低至fA /µV分辨率上执行精确的直流电流-电压（IV）测量。选件ASU（自动传感和开关单元）可将低电流测量性能向下扩展至次fA范围，为您提供更高的测量性能。
SMU还可执行准静态电容-电压（QS-CV）测量。它不仅拥有低频CV特征，同时还是表征栅极晶体管的表面态以及高频CV的重要测量方法。Agilent B1500A支持精确的QS-CV测量和泄露电流补偿。
对于要求进行精密电压/电流测量的半导体、纳米器件（例如碳纳米管（CNT）和碳纳米线（CNW））、有源/无源元件、材料以及任意电气器件，SMU结合使用EasyEXPERT软件的分析和数据管理能力，非常适合对这些器件进行表征。
利用硬件时钟精密计时控制功能可实现精确的时间相关表征（例如脉冲和采样测量）
除了直流测量功能之外，Agilent B1500A SMU还具备先进的时间相关测量功能，包括脉势测量和采样测量。脉冲和采样测量能够找出并捕获动态特征。计时精度是时间相关测量的重要因素之一。Agilent B1500A SMU利用硬件时钟精密计时控制功能来执行精确的测量。最低采样测量间隔低至100μs，脉宽最小值为500μs。
Agilent B1500A提供3种SMU以满足您的测试需求。
直流和时间相关测量可让您对电流-电压（IV）测量结果充满信心
· 4象限电源和测量功能可让您在低至fA（毫微微安培）的范围内进行精确的电流-电压（IV）表征
· 测量范围是0.1 fA - 1 A / 0.5µV - 200 V
· 提供点测量、扫描测量、脉冲和采样测量功能
· 采样测量间隔最低为100μs
· 脉宽最小值为500μs，使用2μs分辨率
· 准静态电容-电压（QS-CV）测量，具有泄露电流补偿
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