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销售吉时利 2675A 数字源表

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深圳市 完好
更新日期:2026-08-28
联系电话:0755-86016691

* 产品描述

2657A 属于 Keithley 2600A 系列模块化系统源测量单元,单通道 3000V 高压 SMU,集成精密高压电压源、电流源、6½ 位万用表、电子负载、脉冲发生器一体化设备。支持完整四象限工作,兼顾千伏级高压输出与 fA 级超低漏电流测量,专为宽禁带功率半导体、高压器件绝缘击穿、介质漏电测试开发。搭载 TSP 测试脚本处理器,适合晶圆探针台自动化测试系统、实验室高压器件 I-V 特性表征。

详细信息

1、核心电气规格

  • 通道:单通道独立 SMU
  • 输出电压范围:±3000V
  • 电流量程:直流最大 ±20mA;脉冲电流 ±20mA
  • 最大直流功率:180W
  • 测量分辨率:6½ 位;最低电流 1 fA,可同时测高压 + 微小漏电流
  • 两套采集系统:
     22bit 积分 ADC:稳态高精度漏电测量
     18bit 数字化仪:1μs / 点高速瞬态波形捕捉
  • 工作模式:四象限(源输出 / 吸收电流,充当电源或电子负载)

2、硬件接口配置

  • 输出端子:专用高压安全接线端子,带安全互锁保护
  • 通讯:LXI 以太网、GPIB、RS232、USB
  • TSP-Link 高速互联总线,多台源表同步触发级联扩展通道
  • 14 路数字 I/O,可直接联动探针台、开关矩阵(707B/708B)
  • 支持远端四线 Sense 测量,消除引线压降误差

3、功能特性

① 高压与微弱电流兼顾:施加 3kV 高压同时精确测量 fA 级反向漏电流;
② 内置接触检测功能,自动识别测试夹具接触不良;
③ 支持线性扫描、对数扫描、击穿扫描、脉冲测试;脉冲模式降低器件热效应;
④ TSP 嵌入式脚本,仪器本地独立运行测试流程,大幅提升自动化测试速度;
⑤ 完善高压硬件联锁、过压、过流保护,保障人员与被测器件安全;
⑥ 兼容 ACS 半导体测试软件、TSP Express,无需复杂编程快速生成 I-V 曲线。

4、典型应用场景

  1. SiC、GaN 功率器件反向击穿电压、阻断漏电流测试
  2. MOSFET、IGBT 高压特性、栅介质耐压可靠性测试
  3. 薄膜介质、绝缘材料、电容高压漏电、击穿特性测试
  4. 光电探测器、高压二极管、真空器件电学表征
  5. 半导体晶圆厂自动化探针台高压参数量产测试

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