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产品型号：安捷伦 DSO-X93204A

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销售  /半导体测试仪器/半导体参数分析仪

销售吉时利 4200 - SCS 4200 - SCS半导体特性分析系统主机+4210 - CVU模块

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更新日期：2025-08-07
联系电话：0755-86016691

* 产品描述

4200 - SCS 半导体特性分析系统是实验室级的器件直流参数测试与实时绘图分析系统，具备高精度和亚 fA 级分辨率。搭配 4210 - CVU 电容电压测量模块后，可在 1kHz 至 10MHz 频率范围内进行电容测量，能满足多种半导体测试需求，广泛应用于半导体器件研发、制程控制、可靠性分析等领域。

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详细信息

产品详情

  • 主机特性：
    • 操作环境：采用直观的点击式 Windows 操作环境，方便用户操作，加速并简化数据获取过程。
    • 分辨率扩展：配备独特的远端前置放大器，可将源测量单元（SMU）的分辨率扩展至 0.1fA。
    • 测量功能：具备新型脉冲与脉冲式 I - V 功能，集成了示波与脉冲测量功能的示波卡，可进行高级半导体测试。
    • 数据处理：内置 PC，提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印功能，还拥有大容量存储器，可存储大量测试结果。
    • 软件界面：具有浏览器风格的软件界面，可根据器件类型安排测试，能执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能。
    • 可靠性测试：内置了 Stress/Measure、循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式可进行可靠性测试，支持 5 个 JEDEC 规范的样品测试。
    • 兼容性：支持 Keithley 590 型与 Agilent 4284/4294 型 C - V 仪、Keithley 开关矩阵与 Agilent 81110 脉冲发生器等多种外围设备。硬件由 Keithley 交互式测试环境（KITE）控制，可用于外接仪表控制与测试平台集成。还包括驱动软件，支持 Cascade Microtech Summit 12K 系列等多种探针台。
  • 4210 - CVU 模块特性：
    • 测量参数：用于获取 C - V 曲线，可测量 Cp - G，Cp - D，Cs - Rs，Cs - D，R - jx，Z - theta 等参数。
    • 频率范围：测试信号频率范围为 1kHz 至 10MHz，频率精度 ±0.1%。
    • 信号输出：信号输出电平范围 10mV 至 100mV，直流偏置 ±30V，差分模式最大输出 60V。
    • 电容测量范围：电容测量范围为 1pF 至 1μF。
  • 整体技术指标：
    • I - V 测量：I - V 源测量单元电压范围可达 ±210V，电流范围根据模块不同可为 100mA（中功率模块）或 1A（高功率模块），分辨率可达 100fA，选配前端放大器可提升至 0.1fA，支持四象限操作。
    • 脉冲式 I - V 测量：脉冲电压为 ±40V（80Vp - p），脉冲电流为 ±800mA，采样率 200MSa/s，分辨率 5ns，支持多电平脉冲瞬态波形捕获。

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