故障 1:主机开机,B1517A 模块自检报错,模块不响应
故障现象:EasyEXPERT 开机诊断提示Slot X SMU Self‑test Error、ADC access test failed;该槽位 B1517A 无法识别;其他插槽模块正常;报错代码 4509,IFIM 增益测试失败;重装插拔模块有时短暂恢复。
故障根源:①DUT 器件击穿,反向高压 / 大电流倒灌,损坏模块前端保护二极管、采样运放;②ESD 静电损伤 ADC、增益放大电路;③模块背板金手指氧化,主机背板插槽接触不良;④模块本地供电芯片损坏;⑤模块板载 EEPROM 存储的出厂校准常数损坏丢失。
故障特性总结:故障固定对应 B1517A 模块;将模块互换至其他 B1500A 主机,故障复现,判定模块本体损坏。
故障 2:硬件自检 PASS,IV 测试漂移,微电流档位噪声大、漏电异常
故障现象:模块自检全部通过;测试标准高阻器件,fA‑pA 档位基线漂移,电流读数噪声大;电压输出存在偏移;四线 Force‑Sense 测量误差偏大;更换全新三轴测试电缆、探针台接线,故障依旧。ASU 选件机型 aA 档位无法达到指标。
故障根源:①模块内部电压参考源漂移;②ASU 切换单元继电器触点氧化漏电;③内部保护器件轻微受损未完全击穿;④模块内部 Guard 保护回路漏电;⑤量程切换继电器接触电阻劣化。
故障特性总结:仪器自诊断不会告警,必须使用标准器件校验才能暴露;超低漏电测试工况高频故障。
故障 3:ASU 选件故障,IV‑CV 切换失败,aA 超灵敏档位不可用
故障现象:普通 IV 模式可以工作;开启 ASUatto‑sense 单元,报错切换失败;无法进入 100aA 超低电流量程;CV‑IV 切换动作超时。
故障根源:ASU 单元信号继电器老化、触点漏电;ASU 内部信号调理电路静电损伤;ASU 与 B1517A 本体连接排线接触不良。为本机型特有故障,带 ASU 选件模块高发。
故障特性总结:关闭 ASU 功能,普通 B1517A 的 1fA 档位可以正常工作。
故障 4:输出 Compliance 限流异常,限流点不准,器件测试保护失效
故障现象:设置电流 / 电压限制,实际输出超过设定限流值;或者过早进入 Compliance,无法输出设定电压电流;器件应力测试容易出现过压过流。
故障根源:模块内部限流检测回路、采样电阻劣化;反馈运放性能漂移;出厂校准常数丢失。
故障特性总结:无硬件报错,做保护点校验才能发现问题。