案例 1:CH1-SMU 无输出,开机自检报 Offset Overload
故障现象
整机开机正常,Clarius 识别全部模块;CH2 通道测试正常,CH1 施加电压无电流输出,自检弹窗偏移过载报错,切换所有量程均无效。
排查过程
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更换 Triax 线缆、更换标准校准电阻,故障不变,排除外部配件;
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互换 CH1、CH2 模块插槽,故障跟随模块转移,锁定 SMU1 硬件损坏;
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拆机检测 SMU 模块,输出级双极功率管击穿,前置采样运放漏电超标,校准存储 EEPROM 参数错乱。
维修方案
更换同规格输出功率管、低噪声运算放大器;清理模块金手指,重写原厂校准参数;整机执行全通道自校准,IV 曲线、微电流测量指标恢复出厂精度,过载报错消除。
案例 2:长期闲置开机黑屏,风扇转动无显示
故障现象
设备存放 2 年未通电,上电后风扇运转,屏幕完全黑屏,无开机 logo,无任何测量响应。
排查过程
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测量开关电源各组输出,低压 3.3V/5V 电压偏低;
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拆解主控板,板载大容量电解电容电解液干涸、鼓包,BIOS 备份电池电压归零;
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主板供电回路因电容漏电进入持续保护状态。
维修方案
批量更换主板全部老化电解电容、更换 BIOS 纽扣电池;单独空载测试电源板,确认各路电压达标;整机重装系统、重新识别所有 SMU 模块,自检全部 Pass,电流、电压测量稳定无漂移。
案例 3:C-V 电容测试数值跳变,重复性极差
故障现象
直流 I-V 测试正常,切换 CV 模式测试 MOS 电容,读数持续大幅跳动,多次扫描曲线完全不重合,CV 自检中途失败。
排查过程
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更换标准校准电容、清理 Kelvin 夹具,故障依旧;
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单独取出 4215-CVU 模块,检测内部矩阵切换继电器触点氧化、匹配参考电容容量偏移;
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模块自校准程序无法补偿电容偏差。
维修方案
更换 CV 模块信号切换继电器、高精度标准参考电容;执行 CV 专用全频段自校准;复测 1kHz~10MHz 全频率电容曲线,波动控制在 ±0.1% 内,重复性达标。