产品描述:
10898A 双通道激光轴板提供与 10897B 高分辨率激光轴板相同的分辨率,但转换速率更高,噪声更低。与以前的激光系统相比,更高的载物台速度限制和低噪声为 IC 制造设备等高级应用提供了卓越的定位可重复性和精度。与前代产品 10897B 一样, 10898A 采用高分辨率平面镜干涉仪,可提供 lambda/2048(0.3 nm)的测量分辨率
特点:
灵活的硬件 IO
多轴系统的 Ref 和 Meas 信号的简单可编程路由
36 位、2 位补码硬件位置输出 @ 10 MHz
本质上是一块 6U 板上的两个增强型 10897C 轴。
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