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销售牛津仪器科技 Plasmalab800Plus 反离子蚀刻机

浏览次数:1843

产品参数

选件 是否计量 发货周期 保修时间 成色
1-4天 3月 8成新
所在地 机身号 状态 资料下载
深圳市 完好
更新日期:2024-04-06
联系电话:0755-86016691

* 产品描述

带有 380 毫米或 460 毫米直径工作台的 Plasmalab800Plus
提供完整的 300 mm (12”) 或大批量 48 x 50mm (2”) 容量,

在较小的洁净室空间内实现完整的生产解决方案。

广泛的应用
应用包括:
SiO2、SiNx 和石英蚀刻
金属蚀刻
聚酰亚胺蚀刻
氮化硅和二氧化硅的高质量PECVD
光子学、介电层、钝化和许多其他
应用
用于高亮度 LED 的硬掩模沉积和蚀刻
生产
使用专门配置的 PlasmalabµEtch 工具进行故障分析干法蚀刻去处理,具有 RIE,双模式
RIE/PE 和 ICP 工艺范围从封装芯片和
芯片蚀刻到完整的 300 毫米晶圆蚀刻
 III-V 蚀刻工艺(带有可选手套箱以增强
有毒气体使用安全)

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