将激光能量于极短的时间内集中在微小区域,使固体升华、蒸发的加工方法
将激光聚光于工件内部,在工件内部形成改质层,通过扩展胶膜等方法将工件分割成芯片的切割方法
对基板中的材料层进行激光照射,材料层就能从基板上剥落的加工方式
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