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求购其他 RPM2000 PL映射器

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二手 -- 深圳市 1
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更新日期:2019-12-23
联系电话:0755-86016691

*产品描述

RPM2000专门设计用于在以前与此类测量相关的时间的一小部分时间内获得整个晶圆PL图,从而能够在生产运行之间测量和评估晶圆。主要好处是,如果晶圆参数超出规格,可以实施快速反馈和补救措施,避免浪费生产运行,从而节省时间和成本。此外,测量速度使得购买的晶片的进入检查和鉴定成为一项快速而简单的任务。

通过使用独特的设计,该系统可实现超快的绘图速度,而不会影响光谱和空间分辨率。例如,可以在19秒内以1mm空间分辨率快速检查2英寸晶片上的集成PL信号。这是一个不到20秒的2026点地图。全光谱映射,在相同的空间分辨率下,给出峰值位置,峰值强度,FWHM和积分强度仅需要25秒。在不到100秒的时间内,RPM2000可以生成0.2英寸空间分辨率,总计超过50,000点的2英寸晶圆的集成地图,或0.5毫米空间分辨率的光谱图,可提供8,000个点。

RPM2000还可以在高空间和光谱分辨率下提供真正的图像质量PL映射,能够检测直径达150mm的晶圆上的数十万个点:可以在直径达100mm的晶圆上以0.1mm的空间分辨率进行映射晶圆上0.2mm,最大150mm。对于150mm晶圆,1mm空间分辨率集成地图仅需56秒,图像质量0.2mm空间分辨率集成地图,对应超过455,800点仅需8分钟。

硬件
RPM2000采用定制设计的R,È,Z平台,可保持直径达150毫米,厚度达1毫米的晶圆。温度和激光功率监视器是标准配置。样品架包括两部分:扫描台和快速且易于更换的晶片夹头,选择与晶片直径相匹配。通过真空保持晶片,允许容纳不规则形状的小样品。通过在激光激发束保持静止的同时移动晶片来生成PL图。通过使用阵列检测器,可以同时获取所有波长。

系统配置
RPM2000可配置为覆盖宽光谱范围,由光栅,激发激光器,探测器和顺序排序滤波器选择。我们的科学家可以就定制配置提供建议。

激励和检测
可以容纳多达两个内部安装的激励激光器和一个外部光纤耦合的激发激光器。激发激光束以一定角度撞击样品表面,以提供激光的空间滤波。光束通常聚焦到大约100μm的光斑直径,并且通常,激光功率保持足够低以消除光谱的任何变化。样品产生的PL通过反射光学系统收集,与0.3米单色仪耦合,在整个光谱范围内提供出色的通量。可以安装多达三个计算机控制的光栅,七个滤波器和两个阵列检测器。

第三检测器用于测量积分的PL信号。激光器,探测器,滤波器和光栅都可以从软件中选择,无需重新配置硬件。反射率选项也可用于光谱系统,以确定薄膜厚度和布拉格反射器和VCSEL表征。

RPM软件
RPM2000应用程序已经开发了很多年,并且功能强大且功能多样。所有必需的控制和分析功能都可直接作为应用程序的一部分提供。功能以逻辑和直观的方式呈现。该应用程序配有食谱编辑器和全面的在线帮助手册。

高空间分辨率映射
RPM2000可以在全光谱模式下每秒采集多达200个数据点,采用板载数字信号处理(DSP),或者在光谱积分模式下每秒采集惊人的2000点数据。这使得能够收集非常高的空间分辨率“晶片图像”。这些图像通常可以揭示小的生长缺陷,否则这些缺陷将无法检测到。 r-theta扫描中的高空间分辨率带来了另一个优势,即能够非常详细地对晶圆的边缘区域进行成像。



RPM2000可以在非光谱模式下每秒收集多达2000个数据点。该图像显示了在低空间分辨率下扫描晶片时无法检测到的小的生长缺陷。

GaN LED的傅立叶滤波
来自GaN MQW LED的原始PL数据经常因干涉条纹的存在而失真。精密的傅立叶滤波软件算法在数学上消除了条纹的影响 - 揭示了真正的PL光谱。



新的傅里叶滤波软件消除了GaN LED光谱中的边缘效应。

其他要求

能测到 1200nm - 2000nm

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